Diagnostika reaktivního plazmatu pomocí planární vysokofrekvenční sondy při depozici polovodivých vrstev
V rámci vypsané stáže, se student zapojí do výzkumu plazmatických depozic krystalických polovodivých vrstev na bázi oxidů a sulfidů. Tyto vrstvy mají aplikace ve fotoelektrochemii, fotonice a technologii optoelektronických senzorů. Pro depozice polovodivých vrstev je použita metoda reaktivního pulzního magnetronového naprašování s přídavným vysokofrekvenčním induktivně vázaným plazmatem pracující v rezonanci elektronové cyklotronové vlny. Klíčovým úkolem…
