Diagnostika reaktivního plazmatu pomocí planární vysokofrekvenční sondy při depozici vrstev s antivirovým efektem
V rámci vypsané stáže, se student zapojí do výzkumu plazmatických depozic krystalických CuFeO2 vrstev s antivirovým efektem. Pro depozice CuFeO2 vrstev je použita metoda reaktivního pulzního magnetronového naprašování s přídavným vysokofrekvenčním induktivně vázaným plazmatem pracující v rezonanci elektronové cyklotronové vlny. Klíčovým úkolem bude provádět diagnostiku reaktivního depozičního plazmatu pomocí planární vysokofrekvenční sondy (RF sonda) přímo při depozici tenké vrstvy.…
