Obor: Elektronová litografie

Výroba a analýza gate-struktur pro nanotrubičkové elektronové zářiče 

Během stáže si osvojíte základy polovodičové technologie a přípravy nanostruktur. Naučíte se obsluhovat moderní fotolitograf s metodou přímého laserového zápisu, DMO MicroWriter ML3 a provádět další technologické kroky přípravy, včetně nanášení litografických laků pomocí spin-coatingu, chemické vyvolání motivu zapsaného litografem a další. V rámci analýzy vyrobených vzorků se seznámíte s pokročilými metodami, jako je např. SEM,…